Gigaphoton เปิดตัวระบบรีไซเคิลก๊าซนีออนสำหรับเลเซอร์ ArFtag: DUV Lithography, Gigaphoton, hTGM, Neon Recycling, SemiconductorOct 6, 2026 · By: SirilukPGigaphoton พัฒนาระบบรีไซเคิลก๊าซนีออน hTGM สำหรับเลเซอร์ DUV ที่มีอัตราการกู้คืน 50% เพื่อลดการพึ่งพาสิ่งนำเข้าและต้นทุนการผลิตชิป
