Intel เริ่มผลิตชิป Panther Lake ด้วยเทคโนโลยี High NA EUV ของ ASML เป็นรายแรกของโลก

Intel กลายเป็นบริษัทแรกของโลกที่เริ่มส่งมอบชิปตรรกะ (logic chips) ปริมาณมากที่ผลิตด้วยเทคโนโลยี High NA EUV จาก ASML โดยใช้ในบางเลเยอร์ของโปรเซสเซอร์ตระกูล Intel Core Ultra Series 3 หรือ Panther Lake บนโหนดการผลิต Intel 18A ที่โรงงานในรัฐออริกอน

ASML ระบุว่าหัวใจสำคัญของเทคโนโลยีนี้คือการเพิ่มค่า Numerical Aperture (NA) จาก 0.33 เป็น 0.55 ช่วยให้การพิมพ์ลวดลายวงจรมีความละเอียดแม่นยำสูงขึ้นในขั้นตอนเดียว ลดความซับซ้อนของกระบวนการผลิตและรองรับการขยายตัวของประสิทธิภาพชิปสำหรับ AI ในอนาคต โดยเลเยอร์ที่คัดเลือกมาผลิตนี้ผ่านการรับรองแบบ dual-qualified ซึ่งสามารถสลับไปผลิตด้วยเครื่องสแกน 0.33 NA แบบเดิมได้โดยที่ผลลัพธ์เวเฟอร์ยังเหมือนกัน ความร่วมมือนี้ถือเป็นการเปลี่ยนผ่านจากการวิจัยและพัฒนาสู่การใช้งานเชิงพาณิชย์จริง ซึ่ง Intel พลิกโฉมการติดตั้งเครื่อง TWINSCAN EXE:5000 และ EXE:5200B ก่อนหน้านี้ให้มีผลลัพธ์การทำงานที่สอดคล้องกับมาตรฐานอุตสาหกรรม และเตรียมขยายผลสู่โหนด Intel 14A ต่อไป